超纯水检测

一、‌核心检测项目‌

‌电阻率/电导率‌

‌标准要求‌：超纯水电阻率需达18.2 MΩ·cm（25℃），电导率≤0.01 μS/cm，反映水中离子总浓度。

‌检测设备‌：高精度电导率仪，需温度补偿功能（如25℃校准）。

‌总有机碳（TOC）‌

‌限值范围‌：半导体行业要求TOC≤1 ppb，制药行业≤5 ppb。

‌检测技术‌：紫外氧化-非色散红外法（UV-NDIR）或电导检测法，灵敏度达ppb级。

‌微生物与内毒素‌

‌微生物指标‌：菌落总数≤50 CFU/ml，致病菌（如大肠杆菌）不得检出。

‌内毒素控制‌：注射用水细菌内毒素≤0.25 EU/ml，采用鲎试剂法检测。

‌颗粒物与金属离子‌

‌颗粒物限值‌：粒径＞0.1 μm的颗粒数≤1个/ml（半导体行业）。

‌痕量金属‌：钠、钾、铁等金属离子需≤0.1 ppb，采用电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）分析。

二、‌检测方法与仪器‌

‌电阻率检测‌

‌在线监测‌：集成温度传感器的电导率仪，实时反馈水质变化。

‌实验室校准‌：每日使用标准溶液（如KCl溶液）校准仪器。

‌TOC检测‌

‌紫外氧化法‌：通过紫外光分解有机物生成CO₂，红外检测器定量分析。

‌快速检测‌：便携式TOC仪适用于现场筛查，检测时间＜3分钟。

‌颗粒物计数‌

‌激光散射技术‌：激光粒子计数器统计0.1~5 μm颗粒数量及分布。

‌膜过滤法‌：通过孔径0.22 μm滤膜截留颗粒，显微镜观察计数。

‌金属离子分析‌

‌ICP-MS‌：检测限低至0.01 ppb，适用于半导体等高纯度系统。

‌原子吸收光谱（AAS）‌：针对特定金属（如铜、锌）定量分析。

三、‌检测标准与流程‌

‌标准体系‌

‌半导体行业‌：ASTM D5127-2024规定电阻率、TOC及颗粒物限值。

‌制药行业‌：符合《中国药典2025版》纯化水和注射用水微生物及化学指标。

‌操作规范‌

‌采样要求‌：使用无污染容器（如聚丙烯瓶），避免接触空气导致二次污染。

‌检测顺序‌：优先完成电阻率、TOC快速检测，再开展微生物培养（需48小时）及金属离子分析。

四、‌应用场景‌

‌半导体制造‌

超纯水用于晶圆清洗，需满足颗粒物≤1个/ml、金属离子≤0.1 ppb的严苛要求。

‌生物制药‌

注射用水需通过内毒素联合检测，确保无菌、无热原风险。

‌实验室分析‌

高效液相色谱（HPLC）用水要求TOC≤5 ppb，避免有机物干扰实验结果。

五、‌技术创新与设备‌

‌臭氧浓度检测装置‌

双光源同步检测技术（专利CN 119827424 A）可提升臭氧浓度检测精度，避免光照强度差异导致误差。

‌储水箱液位监测‌

弹性支撑机构结合对位触点（专利CN 222761703 U）实现液位实时反馈，维护便捷性提升30%。

通过多维度检测技术联动，超纯水在半导体、医药等领域的质量可控性显著提升，支撑高精度制造与科研需求。